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磁悬浮涡轮分子泵

产品类别：磁悬浮涡轮分子泵

ULVAC的系列涡轮分子泵UTM-FW/FH的使用磁悬浮数字控制，以实现优越的性能，如高功能和节约能源。
每个系列车型的多种可用于几个不同的进程。
FW系列是广泛和高吞吐量。
FH系列是高背的压力和高压缩。
特点
拿出监控/自我检查和通信功能，提供数字输出，可与集中控制系统使用。 
拿出耦合功能。
几个型号的泵可以注册和使用单电源，开关模式，结合不同的泵电源。 
来变速功能，使疏散的速度从25％到100％不同。 
优秀的耐腐蚀表面处理。 
对于硬过程中，模特们提供特别处理的表面和内部加热系统（FW系列）。 
设计一个安全的高度，用一种机制来吸收破裂的能源，减少在意外设备损坏。
应用
至于中间硬进程的主泵（FW系列） 
作为光到中间过程的主泵（FH系列） 
作为疏散主泵超高真空实验室设备创造高。