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磁悬浮涡轮分子泵

产品类别:磁悬浮涡轮分子泵

产品特点

UTM-FW/FH系列数字控制的磁悬浮涡轮分子泵 

ULVAC的系列涡轮分子泵UTM-FW/FH的使用磁悬浮数字控制,以实现优越的性能,如高功能和节约能源。
每个系列车型的多种可用于几个不同的进程。
FW系列是广泛和高吞吐量。
FH系列是高背的压力和高压缩。
特点
拿出监控/自我检查和通信功能,提供数字输出,可与集中控制系统使用。 
拿出耦合功能。
几个型号的泵可以注册和使用单电源,开关模式,结合不同的泵电源。 
来变速功能,使疏散的速度从25%到100%不同。 
优秀的耐腐蚀表面处理。 
对于硬过程中,模特们提供特别处理的表面和内部加热系统(FW系列)。 
设计一个安全的高度,用一种机制来吸收破裂的能源,减少在意外设备损坏。
应用
至于中间硬进程的主泵(FW系列) 
作为光到中间过程的主泵(FH系列) 
作为疏散主泵超高真空实验室设备创造高。


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